ผลของกระแสเซอร์โคเนียมคาโทดที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางโครเมียมเซอร์โคเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง
156
8
อ้างอิงจาก : TNRR
พร้อมใช้งาน :