ผลของกระแสเซอร์โคเนียมคาโทดที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางโครเมียมเซอร์โคเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยเทคนิครีแอกทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง
173
9
อ้างอิงจาก : TNRR
พร้อมใช้งาน :